Politecnico di Milano
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Risorsa bibliografica facoltativa
Scheda Riassuntiva
Anno Accademico 2014/2015
Scuola Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione
Insegnamento 089727 - MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
Docente Corigliano Alberto
Cfu 5.00 Tipo insegnamento Monodisciplinare

Corso di Studi Codice Piano di Studio preventivamente approvato Da (compreso) A (escluso) Insegnamento
Ing Ind - Inf (Mag.)(ord. 270) - MI (426) MATERIALS ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY* AZZZZ089727 - MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
Ing Ind - Inf (Mag.)(ord. 270) - MI (491) MATERIALS ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY - INGEGNERIA DEI MATERIALI E DELLE NANOTECNOLOGIE* AZZZZ089727 - MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Programma dettagliato e risultati di apprendimento attesi

General presentation of Micro Electro Mechanical Systems: recent developments and future perspectives

 

Micro-fabrication technology: process description, from lithography to the final device.

 

Actuators: capacitive, electro-thermal, piezoelectric.

 

Microsystem description: accelerometers, gyroscopes, magnetometers, pressure sensors, micro-pumps.

 

Modelling and simulation: multi-physics modeling, reduced order models and continuum models.

 

Microsystem reliability: fracture, fatigue, stiction, pull-in instability, accidental drop.

 

 


Note Sulla Modalità di valutazione

Presentation of a work on a subject previously defined and final general discussion on the whole course.


Bibliografia
Risorsa bibliografica facoltativaT.M. Adams, R.A. Layton, Introductory MEMS, Editore: Springer, Anno edizione: 2010
Risorsa bibliografica facoltativaS. D. Senturia, Microsystem design, Editore: Kluwer Academic publishers, Anno edizione: 2001
Risorsa bibliografica facoltativaS. E. Lyshevski, MEMS and NEMS. Systems, devices and Structures, Editore: CRC Press, Anno edizione: 2002
Risorsa bibliografica facoltativaJ. G. Korvink, O. Paul eds., MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications, Editore: William Andrew Inc. and Springer-Verlag, Anno edizione: 2006
Risorsa bibliografica facoltativaA. Frangi, N. Aluru, C. Cercignani, S. Mukherjee eds, Advances in multiphysics simulation and experimental testing of MEMS, Editore: Imperial College Press, Anno edizione: 2008
Risorsa bibliografica obbligatoriaCourse notes available on Beep for Polimi students https://beep.metid.polimi.it/

Mix Forme Didattiche
Tipo Forma Didattica Ore didattiche
lezione
32.0
esercitazione
16.0
laboratorio informatico
0.0
laboratorio sperimentale
0.0
progetto
0.0
laboratorio di progetto
0.0

Informazioni in lingua inglese a supporto dell'internazionalizzazione
Insegnamento erogato in lingua Inglese
Disponibilità di materiale didattico/slides in lingua inglese
Disponibilità di libri di testo/bibliografia in lingua inglese
Possibilità di sostenere l'esame in lingua inglese
Disponibilità di supporto didattico in lingua inglese
22/03/2019 Area Servizi ICT v. 1.4.11 / 1.4.11